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时间:2019-05-23 08:47:58 来源: 作者:
日前,第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术”的评选结果揭晓,浙江晶盛机电股份有限公司凭借一项“大尺寸半导体硅单晶生长设备的关键技术”跻身半导体设备和仪器类奖。
单晶硅生长炉是采用直拉法拉制单晶硅棒的专用设备,在国家科技重大02专项课题的支持下,晶盛机电有效解决了硅单晶生长过程中硅单晶微缺陷和氧含量控制、晶体生长过程中的图像识别检测、熔体液面位置控制等重大技术难题,实现了智能化全自动单晶硅生长炉技术的重大突破,打破了高端单晶炉技术国际产业的垄断。
据悉,第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术”评选活动由中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社联合举办,旨在宣传和推广我国半导体产品和技术创新成果,加快创新成果产业化,获奖项目覆盖6大领域、44项产品与技术。其中在半导体设备和仪器类奖中,晶盛机电为全省唯一一家。